368
mf-u
176 系列 — 高倍率多功能测量显微镜
偏光观察：
观察过滤后只有一个方向振动的光。用于观察具有特
殊光学特性的材料，如矿石和液晶。
微分干涉对比观察：
在检测金属、液晶和半导体表面的微小划痕和台阶时
十很有效。
暗视场观察：
挡住直射到物体上的光，只观察散射光，通过高对比
度能观察到在亮视场看不到的划痕和粉末。
亮视场观察：
最普通的观察方式，直接观察从工件表面反射的光。
特点
• 亮视场、大视野观察可得到清晰、无闪
烁的正像。
• 使用长工作距离的目镜，放大倍率可达
20x (总倍率：4000x)。
• 和高级检测显微镜一样采用校正光学系
统(fs 系列)。
• 亮／暗视场观察，偏光观察和微
分头干涉对比 (dic) 观察。
• 使用立柱两侧的微调／粗调旋钮
进行调焦和测量。
• 调零开关 (x 轴和 y 轴) 也位于操作台手柄
的附近。
• 带有镜头旋转盘。
• 增强型目镜可有效缓解眼睛疲劳。
技术参数
观察图像 :  正像
光管 :  siedentoph 型 (可调瞳距：51 - 
  76mm), 1x 光管镜头、 
  双目目镜 ( 俯角：30º), 
  十字投影法、带有tv 插板、
    光通比、(目镜 /tv 插板：50/50)
目镜 :  10x (视场直径：24mm), 
  可选 : 15x, 20x
转盘 (选件):  手动或电动旋转盘
物镜 (选件):  从 1x - 100x 的 m/bd plan apo 物镜
    (详见 384 页)
轮廓照明
  • 光源 :   卤素灯泡 (12v, 50w)
• 光学系统 :  带有可调整光圈的远心照明系统
• 功能 :  光强度可调、无级亮度调整
表面照明
  • 光源 :   卤素灯泡照明选件(光纤冷光照明)
• 光学系统 :  带有可调整光圈的科勒照明系统
  • 功能 :  光强度可调、无级亮度调整
显示装置 :
• 轴数 :   2 轴或 3 轴
• 分辨率 :  0.001mm / 0.0005mm / 0.0001mm/
    .0001 / .00005 / .00001
  • 功能 :  调零、方向转换、 
  数据输出 (通过 rs-232c 接口)
电源 :  100/110/120/220/240v ac, 50/60hz
重量  65.5kg (505b, 1010b), 
  69.5kg (2010b),
    130kg (2017b),
    138kg (3017b),
    144kg (4020b)
505b: 50 x 50mm
xy 工作台选择(行程范围)
1010b: 100 x 100mm
2010b: 200 x 100mm
2017b: 200 x 170mm
4020b: 400 x 200mm
mf-ub3017b
xy 工作台移动范围：300 x 170mm
(带有可选旋转盘、目镜和光纤照明)369
选件
378-857:  15x 目镜套装 (视场范围：16mm)
378-858:  20x 目镜套装 (视场范围：12mm)
––––––:  物镜 (详见 384 页)
378-018:  手动 bf 旋转盘
378-116:  电动 bf 旋转盘
176-211:  手动 bf/df 旋转盘
378-210:  电动 bf/df 旋转盘
––––––:  分划板 (详见 366 页)
178-092:  偏振器
378-076:  用于 100x, sl80x, sl50x 目镜的微分干涉
  对比装置
378-078:  用于50x, sl20x 目镜的微分干涉对比装置
378-079:  用于 20x 目镜的微分干涉对比装置
378-080:  用于 10x, 5x 目镜的微分干涉对比装置
12aaa643:  nd2 型彩色滤光片
12aaa644:  nd8 型彩色滤光片
12aaa645:  gif 型滤光片
12aaa646:  lb80 型彩色滤光片
375-054:  0.5x 相机转向镜 (带有 c-mount 适配器)
970441:  c-mount 适配器
513667:  卤素灯泡 (24v, 50w)
12bab345:  卤素灯泡 (长寿型、24v, 50w)
517181:  卤素灯泡 (24v, 100w)
12bad602:  卤素灯泡 (高亮度型、24v, 100w)
176-308:  防振台架
176-309:  安装台架
375-056:  读数尺
12aaa165:  镜头清洗工具
12aaa846:  脚踏开关
照明元件 (详见 373 页)
176-315:  卤素照明装置 (12v, 100w)
176-316:  卤素照明装置 (12v, 150w)
176-343:  双光纤照明装置
12aag806:  gif 型彩色滤光片 (用于 176-315)
12aag807:  lb80 型彩色滤光片 (用于 176-315)
固定和工作台附件 (详见 363 页)
176-107:  带有夹钳的支架 *
172-378:  带有夹钳的 v 型块 *
  (**工件直径：25mm)
172-197:  用于 tm-510 的旋转式中心架 *
  (**工件直径：80mm)
176-305:  带有微调旋钮的旋转工作台，适用于 
  505b/1010b/1020b 型号
176-306:  带有微调旋钮的旋转工作台，适用于 
  1720b/1730b 型号
*1020b 型号需要与固定适配器(176-310) 配合使用
  1720b/1730b 型号需要与固定适配器(176-304) 配合使用
qm-data200
2d 数据处理器
(详见374 页)
12aaa807: 连接电缆套装
focus pilot fp-05
辅助聚焦系统
(详见372 页)
vision unit
基于pc 的视像测量系统
(详见376 页)
设备选型
单位：mm
尺寸
性能参数
型号 (xy 工作台尺寸) 505b 1010b 2010b 2017b 3017b 4020b
货号 mf-ua  176-567* 176-568* 176-569* 176-570* 176-571* 176-572*
mf-ub  176-587* 176-588* 176-589* 176-590* 176-591* 176-592*
mf-uc  176-573* 176-574* 176-575* 176-576* 176-577* 176-578*
mf-ud  176-593* 176-594* 176-595* 176-596* 176-597* 176-598*
xy 工作台移动范围 50 x 50mm 100 x 100mm 200 x 100mm 200 x 170mm 300 x 170mm 400 x 200mm
z 轴移动范围 150mm 150mm 150mm 220mm 220mm 220mm
调焦方式 手动调焦 (粗调焦：10mm/rev、微调焦：0.1mm/rev)
测量方法 线性编码器 (2 轴型：x / y 轴、3 轴型：x / y / z 轴)
分辨率 (可转换) 0.001mm / 0.0005mm / 0.0001mm / .0001 / .00005 / .00001
测量精度 (20ºc 时) xy 轴：(2.5+0.02l)µm, l 无负载测量长度 (mm), jis b 7153
指示精度 (20ºc 时) z 轴：(5+0.04l)µm, l 为测量长度 (mm)
浮动功能 带有快速断开功能的 x 和 y 轴
xy 工作台台面尺寸 280 x 280mm 280 x 280mm 350 x 280mm 410 x 342mm 510 x 342mm 610 x 342mm
载物玻璃有效尺寸 180 x 180mm 180 x 180mm 250 x 150mm 270 x 240mm 370 x 240mm 440 x 240mm
旋转功能 — — — ±5º (左) ±5º (左) ±3º (左)
**工件重量 10kg 10kg 10kg 20kg 20kg 15kg
**工件高度 150mm 150mm 150mm 220mm 220mm 220mm
* 为区分交流电源电压，在货号后加上以下后缀(如：176-567a):
  a 适于ul/csa, d 适于 cee, e 适于 bs, dc 适于中国、k 适于 ek，无后缀适于jis/100v
设备型号 mf-ua 型 mf-ub 型 mf-uc 型 mf-ud 型
观察类型 亮视场 (bf) 亮视场 (bf) 亮／暗视场 (bf/df) 亮／暗视场 (bf/df)
测量系统 x 和 y 轴 (2 轴) x, y 和 z 轴 (3 轴) x 和 y 轴 (2 轴) x, y 和 z 轴 (3 轴)

---

武汉顿杰测量仪器有限公司
陈小姐
13995533040
武汉经济技术开发区新都国际C座二单元602室