370
hyper mf / mf-u
176 系列 — 高精度测量显微镜
hyper mf-u
(带有可选光管镜头，
旋转盘和物镜)
特点
• ***高精度xy测量精度为(0.9+3l/1000)µm。
• 可选择laf (激光自动对焦) 功能。
• 良好的操作性能和重复精度。
• 三轴电动控制。
• 标配电动自动聚焦装置。
技术参数：hyper mf-u
观察图像 :  正像
光管 :  siedentoph 型 (可调瞳距：51 - 
  76mm), 1x 光管镜头、双目目镜
    (俯角：25º)、十字投影法、 
  带有 tv 插板、光通比
  (目镜 /tv 插板：50/50)
目镜 :  10x (视场直径：24mm), 
  可选 : 15x, 20x
转盘 (选件):  电动旋转盘
物镜 (选件):  从 1x - 100x 的 m/bd plan apo 物镜
    (详见 384 页)
轮廓照明
  • 光源 :   卤素灯泡 (12v, 100w)
• 光学系统 :  带有可调整光圈的远心照明系统
• 功能 :  光强度可调 , 
  100 级亮度调整
表面照明
  • 光源 :   卤素灯泡 (12v, 50w)
• 光学系统 :  带有可调整光圈的科勒照明系统
• 功能 :  光强度可调、100 级亮度调整
数据输出  通过 rs-232c 接口
电源 :  100/110/120/220/240v ac, 50/60hz
尺寸 :  880x913x770mm (主机)
    160x476x381 (电源装置)
重量  255kg (主机), 14kg (电源装置)
技术参数：hyper mf
观察图像 :  正像
光管 :  单目目镜或双目目镜
    (可选俯角：25º)、十字投影法、 
  带有 tv 插板、光通比
  (目镜 /tv 插板：50/50)
目镜 (选件):   10x, 15x, 20x
物镜 :  3x (375-037), w.d.: 72.5mm
  可选: 1x, 5x 10x, 20x, 50x, 100x
轮廓照明
  • 光源 :   卤素灯泡(12v, 100w)
    (光纤冷光照明)
• 光学系统 :  带有可调整光圈的远心照明系统
• 功能 :  光强度可调、100 级亮度调整
表面照明
  • 光源 :   卤素灯泡(12v, 50w)
• 光学系统 :  带有可调整光圈的科勒照明系统
  • 功能 :  光强度可调、100 级亮度调整
数据输出 :  通过 rs-232c 接口
电源 :  100/110/120/220/240v ac, 50/60hz
尺寸 :  880x913x730mm (主机)
    160x476x381 (电源装置)
重量  250kg (主机), 14kg (电源装置)
详见 hyper mf/mf-u (e4267) 产品样本
性能参数
型号 hyper mf-b2515b hyper mf-ub2515b hyper mf-ud2515b hyper mf-ue2515b hyper mf-uf2515b
货号 (mm) 176-420* 176-421* 176-422* 176-423* 176-424*
观察类型 bf bf bf 或 bf/bd bf bf 或 bf/bd
数显计数器 — — — — —
数码自动对焦功能 — — — 有 有
xy 工作台移动范围 250 x 150mm 250 x 150mm 250 x 150mm 250 x 150mm 250 x 150mm
测量装置 线性编码器 线性编码器 线性编码器 线性编码器 线性编码器
分辨率 0.01µm 0.01µm 0.01µm 0.01µm 0.01µm
测量精度 (20ºc 时) (0.9+3l/1000)µm, l 为 xy 轴无负载测量长度 (mm)
驱动系统 (x, y, z 轴) 带操纵杆的电动驱动控制
xy 工作台台面尺寸 460 x 350mm 460 x 350mm 460 x 350mm 460 x 350mm 460 x 350mm
载物玻璃有效尺寸 300 x 200mm 300 x 200mm 300 x 200mm 300 x 200mm 300 x 200mm
旋转功能 ±3º ±3º ±3º ±3º ±3º
**工件重量 30kg 30kg 30kg 30kg 30kg
**工件高度 150mm 150mm 150mm 150mm 150mm
* 为区分交流电源电压，在货号后加上以下后缀 (如：176-420a):
  a 适于 ul/csa, d 适于 cee, e 适于 bs, dc 适于中国、k 适于 ek，无后缀适于 jis/100v371
尺寸
单位：mm
大型高精度xy 工作台
多年以来，在制造精密测量显微镜方面，
三丰积累了丰富的经验，利用这些经验，
经大规模、高稳定性的设计，三丰推出此
型工作台，**负载为 30kgf ，备有各种固
定件，包括芯片固定器和旋转中心支架。
laf 镜管
可选用 laf  (激光自动聚焦) 目镜。laf 系统
在微小步进 minute  steps 测量时具有更高的
重复精度，使高难度测量更加轻松。
* 适用于 mf-u
af 光路图
laf 采用的低功率激光
符合 jis c6802/1997 激光
产品安全性的二级(可见
光) 安全标准。
三轴马达驱动操纵杆
x, y, z 三轴均由一根操纵杆驱动、控制，作
为操作面的核心。可进行速度控制：从工
作台的高速驱动，到工件的超低速精确定
位。
250mm
150mm
150mm
高精度数字光栅尺
本系列显微镜的三轴均配备高精度数字玻
璃光栅尺。三丰公司生产玻璃刻度的实验
室设于地下，终年恒温、恒湿。 xy(工作台)
以及 z 轴 (镜管) 的移动以数字形式显示。
qm-data200
2d 数据处理器
(见374 页)
选件
hyper mf 型号详见 367 页
hyper mf-u 型号详见 369 页
vision unit
基于pc 的视像测量系统
(见376 页)372
性能参数
货号 375-056
测量范围 1mm
分度值 0.01mm
精度 (20ºc 时) (1+l)µm, l 为测量长度(mm)
尺寸 (wxd) 76 x 26mm
重量 16g
读数尺
375-055:
同心圆
375-065:
品字光阑
测量显微镜附件
focus pilot fp-05
特点
• 在 mf 系列测量显微镜的 ccd 相机支架上
安装此系统，并将聚焦图投影到工件表
面上，即可精确快速的检测到焦点。
• 有两种聚焦图可供选择。选择和工件表
面纹理一致的图形。
• 聚焦图的亮度可调。
性能参数
货号 375-055* 375-065*
适用的显微镜 mf 型 mf-u 型
倍率 0.5x, 精度：0.1%**
相机接口 c-mount (标配)
适用 ccd 相机 2/3-inch 以下
重量 1.8kg 1.8kg
* 为区分交流电源电压，在货号后加上以下后缀 (如：375-055a):
   a 适于 ul/csa, d 适于 cee, e 适于 bs, dc 适于中国、k 适于 ek，
无后缀适于 jis/100v
** 在视野区域中心 2/3 的面积之内
聚焦图
• 使用 ccd 相机  (带有c-mount 适配器)，可
在监视器上进行大视场观察。
电动调焦装置
性能参数
货号 378-016* 378-210*
观察类型 bf bf/df
适用的显微镜 mf-ub 型
物镜插板数量 5-mount 4-mount
视场调整范围 ±0.5mm
电源 100 - 240v ac, 50/60hz
尺寸 (w x d x h) 控制盒：108 x 72 x 193mm
* 为区分交流电源电压，在货号后加上以下后缀 (如：378-016a):
   a 适于 ul/csa, d 适于 cee, e 适于 bs, dc 适于中国、k 适于 ek，
无后缀适于jis/100v
性能参数
货号 378-061*
适用的显微镜 mf-a 型 , mf-ua 型
分辨率 0.4µm
驱动速度 3.2mm/s
电源 100 - 240v ac, 50/60hz
尺寸 (wxdxh) 控制盒：108 x 87 x 201mm
* 为区分交流电源电压，在货号后加上以下后缀 (如：378-061a):
   a 适于 ul/csa, d 适于 cee, e 适于 bs, dc 适于中国、k 适于 ek，
无后缀适于 jis/100v
动力旋转盘373
双光纤照明装置 环形光纤照明装置
性能参数
货号 176-366*
适用的显微镜 mf 型
光缆长度 1000mm
光源 卤素灯泡 (12v, 100w)
(517181：卤素灯泡)
尺寸 (w x d x h) 照明装置：235 x 76 x 120mm
可选用彩色滤光片 (gif: 12aag806, lb80: 12aag807)
* 为区分交流电源电压，在货号后加上以下后缀 (如：176-366a):
   a 适于ul/csa, d 适于 cee, e 适于 bs, dc 适于中国、k 适于 ek，
无后缀适于 jis/100v
led 环形照明装置 斜面表面照明装置
性能参数
货号 176-367-2*
适用的显微镜 带有 1x/3x/5x 物镜的 mf 型
光源 白色 led (12v, 100w)
led 电缆长度 1500mm
可选用彩色滤光片 (nd2: 12aaa643, nd8: 12aaa644, gif: 12aaa645,
lb80: 12aaa646)
* 为区分交流电源电压，在货号后加上以下后缀 (如：176-367-1a):
   a 适于 ul/csa, d 适于 cee, e 适于 bs, dc 适于中国、k 适于 ek，
无后缀适于 jis/100v
性能参数
货号 176-351-6*
适用的显微镜 带有 1x/3x/5x 物镜的 mf 型
光源 由显微镜提供 (表面照明)
可选用彩色滤光片 (nd2: 12aaa643, nd8: 12aaa644, gif: 12aaa645,
lb80: 12aaa646)
* 为区分交流电源电压，在货号后加上以下后缀 (如：176-351-6a):
   a 适于ul/csa, d 适于 cee, e 适于 bs, dc 适于中国、k 适于 ek，
无后缀适于 jis/100v
d：双光纤照明装置
c: led 环形照明装置
b：环形光纤照明
a：垂直表面照明 (卤素照明)
性能参数
货号 176-343*
适用的显微镜 mf, mf-u 型
光缆长度 1800mm
光源 卤素灯泡 (12v, 100w)
(517181：卤素灯泡)
尺寸 (w x d x h) 照明装置：235 x 76 x 120mm
可选用彩色滤光片 (gif: 12aag806, lb80: 12aag807)
* 为区分交流电源电压，在货号后加上以下后缀 (如：176-343a):
   a 适于 ul/csa, d 适于 cee, e 适于 bs, dc 适于中国、k 适于 ek，
无后缀适于 jis/100v
pcb
ic 模块 深红色
黑色树脂注塑件
hdd 悬架 pcb
电子器件
柔性 pcb pcb
ic 电路
pcb hdd 悬架

---

武汉顿杰测量仪器有限公司
陈小姐
13995533040
武汉经济技术开发区新都国际C座二单元602室